半导体设备ETF基金(159327)上涨2.84%，成交额达1.02亿元，近一周吸金4201.00万元，近一月规模增3.76亿元

截至2025年10月13日 14:32，半导体设备ETF基金(159327)上涨2.84%，最新价报1.881元，盘中成交额已达1.02亿元，换手率19.98%。

半导体设备ETF基金(159327)成分股沪硅产业涨9.48%，南大光电涨8.37%，芯源微、中科飞测、中微公司等纷纷上涨。

数据显示，半导体设备ETF基金(159327)基金规模较一个月前增加3.76亿元。

截至前一交易日，半导体设备ETF基金(159327)获资金净流入5156.00万元，近一周合计吸金4201.00万元。

半导体设备ETF基金(159327)紧密跟踪半导体材料设备指数。中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

最新数据显示，半导体材料设备指数前十大权重股分别为中微公司、北方华创、沪硅产业、长川科技、华海清科、拓荆科技、南大光电、中科飞测、安集科技、雅克科技。

半导体设备ETF基金(159327)，场外联接 (023828.OF,023829.OF）

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